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    壓電體薄膜層疊基板

    1107   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:16:27
    本發明提供一種壓電體薄膜層疊基板，其使用非鉛系壓電體，可獲得具有高的壓電特性并且每個元件的壓電特性的偏差小的壓電體薄膜元件。本發明的壓電體薄膜層疊基板的特征在于，是在基板上至少依次層疊有密合層、下部電極層和非鉛系壓電體薄膜層的壓電體薄膜層疊基板，前述非鉛系壓電體薄膜層由鈮酸鋰鉀鈉(組成式(NaxKyLiz)NbO3，0＜x＜1、0＜y＜1、0≤z≤1、x＋y＋z=1)形成，前述基板的與前述密合層對置的面的表面粗糙度按最大高度Rz計為2nm以下，前述密合層由第4族元素的非晶質氧化物或者第5族元素的非晶質氧化物形成，其厚度為1nm以上2nm以下且為前述基板表面的最大高度Rz以上。
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    聲明：
    “壓電體薄膜層疊基板” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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