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    導電薄膜、其制備方法及應用

    895   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:17:46
    一種導電薄膜，包括層疊的M2O層，M導電層及R2O層，其中，M2O層的材料為氧化銅，氧化銀或氧化銅銀合金，M導電層的材料為金屬銅，金屬銀或銅銀合金，R2O層的材料為氧化鋰，氧化鈉，氧化鉀，氧化銣或氧化銫。上述導電薄膜通過在M2O層的表面沉積導電層及低功函的R2O層制備多層導電薄膜，M2O層既作為緩沖層和匹配層，既為M層導電作好鋪墊，保障疊層薄膜的導電性能，又與金屬M層形成增透，提高薄膜的光學透過性能，而R2O層是低功函的材料，制備在疊層的表面使導電薄膜的功函數得到了顯著的降低并具有較高的透光性。本發明還提供一種導電薄膜的制備方法及應用。
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