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    電子束加熱蒸發方法與裝置及其用途

    777   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:19:46
    本發明涉及一種蒸發具有較高熔點粉末狀材料的新型電子束加熱蒸發方法與裝置。所述方法結合電子束加熱蒸發和電阻加熱蒸發兩種蒸發方式，由高壓直流電源為燈絲陰極提供負偏壓，使之與接地坩堝間形成強電場；另由低壓交流電源為燈絲熱陰極提供一個可調的工作電流，使燈絲熱陰極發射電子束流；電子束束流在強電場作用下，高速轟擊坩堝，將坩堝加熱。使用本發明的電子束加熱蒸發的方法與裝置可以制備用于電致變色器件的變色層三氧化鎢WO3薄膜和電解質層氟化鋰LiF薄膜，制備的薄膜材料致密、電荷傳輸性能優良；用于聚酰亞胺襯底柔性薄膜太陽電池鎳阻擋層薄膜蒸發制備時，膜厚可以得到精確控制。且設備操作簡單。
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