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    基于推挽式光子晶體拉鏈腔的單片集成三軸光學加速度計

    736   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:22:04
    本發明公開了一種基于推挽式光子晶體拉鏈腔的單片集成三軸光學加速度計，本發明在鈮酸鋰單晶薄膜上集成入射單元，用于產生入射光；相位調制反饋單元，用于對入射光波進行調制得到調制光波并進行調頻反饋；X軸加速度敏感單元，用于探測X軸輸入加速度的大??；Y軸加速度敏感單元，用于探測Y軸輸入加速度的大??；Z軸加速度敏感單元，用于探測Z軸輸入加速度的大??；采用光子晶體拉鏈腔結構，同時實現大帶寬與高分辨率傳感；采用推挽結構實現差分檢測，抑制了旁軸加速度帶來的干擾；采用微納波導將光耦合進入微腔的方案，使加速度傳感器更穩定，實現三軸加速度傳感器的高精度、小型化與高集成。
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    “基于推挽式光子晶體拉鏈腔的單片集成三軸光學加速度計” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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