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    具有防銹作用的化學機械拋光液及其制備方法

    1145   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:22:07
    本發明公開了一種具有防銹作用的化學機械拋光液，其特征在于，由下列重量份的原料制成：微米級鋰輝石粉5-7、白炭黑3-4、氟磷灰石粉1-2、亞麻油酸5.5-7、烯基丁二酸酯3-4、硅酸3-5、硅微粉9-11、磺基水楊酸1-2、碳酸氫鈉2-4、失水山梨醇脂肪酸酯3-5、助劑5-7、去離子水300；本發明制取的混合拋光液，安全無毒，無難聞氣味，配方合理，添加烯基丁二酸酯，具有防銹的作用，添加助劑，具有良好的耐磨、分散、潤滑、成膜性，在工件表面就形成一個阻隔空氣層，協同緩釋劑的作用，可以阻止空氣腐蝕；本發明拋光液質量穩定，不易變質，適合金屬拋光。
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