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    基于相位檢測的單片集成光學加速度計

    885   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:22:08
    本發明公開了一種基于相位檢測的單片集成光學加速度計。包括寬譜光源、模斑轉換器、光電探測器、單向隔離器、2:1型和1:2型Y波導、彈簧振子結構、上中下電極、波導反射鏡、鈮酸鋰單晶薄膜層、二氧化硅緩沖層、硅襯底、制冷片、磁力反饋模塊、封裝外殼；彈簧振子結構位于1:2型Y波導的兩分支端之間，上電極和下電極位于1:2型Y波導兩分支外側，中電極位于彈簧振子結構的質量塊的上表面；光經過模斑轉換器耦合進2:1型Y波導后經單向隔離器進入1:2型Y波導實現分光，兩束光由波導反射鏡反射，耦合進入2:1型Y波導分支后直接耦合進入光電探測器中。本發明探測精度高，體積小，制作工藝簡單，具有高的可靠性和環境適應性。
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    聲明：
    “基于相位檢測的單片集成光學加速度計” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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