本發明提出了一種Ni亞微米陣列的制備工藝。它先將基底和Ni靶材進行清洗預處理;然后在基底上沉積Ni層;接著對沉積后的模板進行熱處理;最后用堿液溶解模板,除去模板后用去離子水洗滌,即可得到Ni亞微米陣列,與現有技術相比,本發明的有益效果是,本發明工藝所采用的是磁控濺射方法,工藝簡單易行且重復性好,所需成本低,清潔環保,適合于規?;瘧?;所制得的Ni亞微米陣列高度有序,直徑一致,并可以采用不同規格的AAO模板制備不同長度和直徑的Ni亞微米陣列以滿足實際需要;所制備的Ni亞微米陣列結構穩定,能夠顯著提高電極活性物質的比表面積,有效提高了鋰離子電池的電化學性能。
聲明:
“Ni亞微米陣列的制備工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)