本發明涉及一種CLBO(CsLiB6O10硼酸銫鋰)晶體的無水拋光工藝。該拋光工藝包括拉亮、粗拋和精拋三個工序,各工序使用的拋光輔料均不含水;拉亮工序采用蓖麻油及W1.0鉆石粉混合液在聚氨酯盤拉亮去除砂眼并控制平行度;粗拋工序采用蓖麻油在瀝青盤上拋光控制平面度、平行度、光潔度等指標;精拋工序采用無水試劑OPW在黑色絨布盤上拋光進一步優化光潔度。該工藝在保證產品平面度、光潔度等指標滿足要求的前提下,解決了CLBO晶體傳統含水拋光易吸潮開裂的技術難題。
聲明:
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