本發明涉及一種用于感測待感測流體的多種特性的流體傳感器,包括音叉機械諧振器(3)。所述音叉機械諧振器(3)包括基部(11)和從所述基部(11)突出的至少一個齒(15A,15B),所述基部(11)和所述至少一個齒(15A,15B)由壓電材料形成,并且所述至少一個齒包括配置為暴露于流體的至少兩個電極(17A?B;19A?B)。所述壓電材料包括鉭酸鋰。
聲明:
“包括音叉機械諧振器的、感測流體特性的流體傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)