1.本發明實施例涉及電子元器件制備技術領域，尤其涉及一種金屬掩模的張網裝置及其方法、張網設備。
背景技術：
2.在電子元器件的制備工藝中，金屬掩模作為圖形信息的載體，通過真空蒸鍍的方式，將圖形轉移到被蒸鍍產品上，從而形成具有相應圖形形狀的電子元器件。
3.通常金屬掩模和被蒸鍍產品會由相應的載體進行固定，且載有金屬掩模和被蒸鍍產品的載體會發生相對運動，使得在將金屬掩模的圖形轉移至被蒸鍍產品時，能夠滿足一定的精度要求?，F有技術中金屬掩模會采用相應的裝置進行夾持拉伸，以對金屬掩模進行張網。
4.但是，隨著集成度的提高，電子元器件制備工藝的精度要求越來越高，對金屬掩模進行張網的精度要求越來越高，如何在確保金屬掩模具有較高張網精度的前提下，實現金屬掩模的自動化張網，成為當前亟待解決的技術問題。
技術實現要素：
5.針對上述存在問題，本發明實施例提供一種金屬掩模的張網裝置及其方法、張網設備，以在確保金屬掩模具有較高張網精度的前提下，能夠實現金屬掩模的自動化張網。
6.第一方面，本發明實施例提供了一種金屬掩模的張網裝置，包括：多個夾持拉伸模塊和與多個所述夾持拉伸模塊一一對應設置的多個第一運動機構；
7.至少部分所述夾持拉伸模塊分布于金屬掩模張網區相對的兩側；每個所述夾持拉伸模塊包括夾持單元、柔性單元、拉伸單元以及位移檢測單元；所述柔性單元設置于所述夾持單元與所述拉伸單元之間，且所述夾持單元、所述柔性單元和所述拉伸單元沿第一方向依次排列；所述拉伸單元設置于所述第一運動機構上；所述第一運動機構帶動所述拉伸單元沿所述第一方向和/或第二方向運動，所述拉伸單元拉伸所述柔性單元，以使所述柔性單元發生形變，并帶動所述夾持單元在所述第一方向和/或所述第二方向上發生位移；其中，所述第一方向與所述第二方向交叉；
8.所述夾持單元用于夾持并固定位于所述金屬掩模張網區的金屬掩模；
9.所述位移檢測單元用于檢測對應的所述拉伸單元的位移信息；
10.其中，各所述第一運動機構的運動狀態相互獨立，以及同一所述第一運動機構在所述第一方向上的運動狀態與其在所述第二方向上的運動狀態相互獨立。
11.第二方面，本發明實施例還提供了一種金屬掩模的張網方法，采用金屬掩模的張網裝置執行，所述金屬掩模的張網裝置包括多個拉伸單元，所述金屬掩模包括預對準標記、多個tp標記和多個像素標記，所述多個像素標記中包
聲明：
“金屬掩模的張網裝置及其方法、張網設備與流程” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：上海微電子裝備（集團）股份有限公司
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2025年07月09日 ~ 11日 
