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    薄層SiO2鈍化膜的制備方法及制備的電池

    774   編輯:中冶有色網   來源:江蘇杰太光電技術有限公司  
    2023-11-29 13:46:31
    權利要求書: 1.一種薄層SiO2鈍化膜的制備方法,其特征在于,具體包括如下步驟: 1)首先提供一種鏈式連續鍍膜的等離子激發的沉積鍍膜設備; 2)通過連續輸送機構將載有硅片(40)的載板連續輸送至鏈式PECD設備的工藝腔體(10)內實現鍍膜; 3)在工藝腔體(10)內,SiH4和O2分別從不同區域出氣,通過等離子源(20)的電極板出氣孔出02,同時從等離子源(20)的電極板側面的分氣塊(30)出SiH4,SiH4和O2兩種氣體通過不同管路進入到工藝腔體(10)的不同區域流出,在1?20Pa的真空下相遇混合并在連續輸送的硅片(40)表面形成SiO2鈍化膜;其中,O2直接進入到腔體后在射頻能量下由等離子體優先將O2分解成活性氧離子,活性氧離子往下輸運到硅片(40)表面時與從分氣塊(30)出來的SiH4相遇,這時活性氧離子迅速將SiH4氧化并在硅片(40)表面生成Si02薄膜,反應方程式為:SiH4+2O2→SiO2+2H2O。 2.根據權利要求1所述的一種薄層SiO2鈍化膜的制備方法,其特征在于,硅片(40)在輸送進入鏈式PECD設備工藝腔體(10)內之前進行預熱,且在工藝腔內設置加熱板對硅片(40)在線連續加熱,使硅片(40)在經過工藝腔體(10)的過程中保持溫度在200?400℃之間,以進一步提高SiO2鈍化膜的膜層質量。 3.一種太陽能電池,其特征在于,基于權利要求1或2所述的一種薄層SiO2鈍化膜的制備方法制備而成。 4.根據權利要求3所述的一種太陽能電池,其特征在于,為Topcon、POLO、IBC、PERC電池中的任一種。 說明書: 一種薄層SiO2鈍化膜的制備方法及制備的電池技術領域[0001] 本發明涉及高效太陽能電池制備技術領域,特別涉及一種Topcon、POLO、IBC、PERC等電池中SiO2鈍化膜的制備方法以及制備的Topcon、POLO、IBC、PERC等電池。 背景技術[0002] 近年來,隨著晶硅太陽能電池的研究和發展,理論和實踐都證明表面鈍化是電池效率提升的必經之路,氧化鋁薄層鈍化在PERC電池上獲得廣泛推廣。但是用摻雜多晶硅和 氧化硅疊層鈍化效果更佳,是下一代量產技術發展的前景,這是由于氧化硅在晶體硅表面 的起到化學鈍化作用,而摻雜
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