權利要求
1.一種碲化鎘晶體退火裝置,包括退火爐(1)和設置在退火爐(1)中的上料組件,其特征在于,所述退火爐(1)的兩端開口處的內壁安裝有外密封圈(2),所述退火爐(1)的上方兩內壁分別安裝有真空管(11)和氬氣管(12),所述退火爐(1)的內部安裝有電熱絲(17),所述退火爐(1)的兩端內側壁卡設有定位槽(18),所述定位槽(18)的內壁安裝有內密封圈(21),所述退火爐(1)的底部安裝有固定座(13),所述固定座(13)的兩端分別安裝有螺桿(15)和導向桿(16),所述固定座(13)一端靠近螺桿(15)的側壁安裝有電機(14);
所述上料組件包括安裝座(3)、第一固定桿(32)、外密封板(321)、第二固定桿(33)和內密封板(331),所述安裝座(3)的兩側壁分別和第一固定桿(32)及第二固定桿(33)固定連接,所述內密封板(331)和另一個上料組件的第二固定桿(33)的一端固定連接,兩個所述上料組件公用同個內密封板(331),所述安裝座(3)的上方開設有三個凹槽(31),所述外密封板(321)的側壁安裝有對稱的滑塊(322),其中一個所述滑塊(322)的內壁和螺桿(15)的外壁螺紋連接,另一個所述滑塊(322)的內壁和導向桿(16)的外壁滑動連接。
2.根據權利要求1所述的一種碲化鎘晶體退火裝置,其特征在于,所述真空管(11)和氬氣管(12)的管道一端分別安裝有閥門,所述真空管(11)外接真空泵。
3.根據權利要求2所述的一種碲化鎘晶體退火裝置,其特征在于,所述螺桿(15)的兩端分別和兩個上料組件中外密封板(321)外側滑塊(322)的內壁轉動連接,所述螺桿(15)的一端和電機(14)的輸出端固定連接。
4.根據權利要求3所述的一種碲化鎘晶體退火裝置,其特征在于,兩個所述外密封板(321)的一側外壁分別和退火爐(1)兩端外側壁中的外密封圈(2)密封連接,所述內密封板(331)的外壁和內密封圈(21)的外壁密封連接。
5.根據權利要求1所述的一種碲化鎘晶體退火裝置,其特征在于,兩個所述外密封板(321)的一側外壁開設有兩組對稱的密封槽(38),所述密封槽(38)的一側開設有穿透的通槽(381),所述固定座(13)的兩側內壁安裝有兩組和通槽(381)內壁滑動連接的滑桿(131
聲明:
“碲化鎘晶體退火裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)