權利要求
1.一種用于立式沉積爐中石墨爐管的自動化提取裝置,其特征在于,立式沉積爐包括石墨爐管,用于立式沉積爐中石墨爐管的自動化提取裝置包括機架、提升架、三級伸縮臂、氣動膨脹爪和三級伸縮臂驅動組件,
其中,提升架連接在機架的支撐面上方,用于提升或下降三級伸縮臂;三級伸縮臂的上端與提升架連接,三級伸縮臂的下端與氣動膨脹爪連接,且三級伸縮臂位于機架的側邊;三級伸縮臂驅動組件與三級伸縮臂連接,且用于驅動三級伸縮臂上下移動;氣動膨脹爪通過壓縮空氣控制;三級伸縮臂配置為長度可調節,且用于將氣動膨脹爪移動至石墨爐管上;氣動膨脹爪用于抓取石墨爐管。
2.根據權利要求1所述的一種用于立式沉積爐中石墨爐管的自動化提取裝置,其特征在于,還包括石墨爐管暫存座,
其中,石墨爐管暫存座連接在機架的支撐面下方;提升架包括定位傳感器,定位傳感器用于定位石墨爐管與石墨爐管暫存座的對接;三級伸縮臂與提升架移動連接。
3.根據權利要求1所述的一種用于立式沉積爐中石墨爐管的自動化提取裝置,其特征在于,立式沉積爐還包括與石墨爐管連接的氣體分配器,用于立式沉積爐中石墨爐管的自動化提取裝置還包括真空吸附盤,
其中,真空吸附盤與氣動膨脹爪連接,且通過壓縮空氣控制;三級伸縮臂還用于將真空吸附盤移動至石墨爐管上。
4.根據權利要求1所述的一種用于立式沉積爐中石墨爐管的自動化提取裝置,其特征在于,
三級伸縮臂包括基本臂、第一級伸縮臂和第二級伸縮臂,其中,第一級伸縮臂滑動嵌套于基本臂內,第二級伸縮臂則滑動嵌套于第一級伸縮臂內。
5.根據權利要求1所述的一種用于立式沉積爐中石墨爐管的自動化提取裝置,其特征在于,
氣動膨脹爪包括氣壓缸、活塞桿、傳動機構、控制閥和夾持爪,其中,氣壓缸與活塞桿連接,活塞桿與夾持爪連接,傳動機構用于將活塞桿的運動轉換為夾持爪的夾持或釋放動作,活塞桿用于在氣壓缸內移動時帶動夾持爪進行運動;控制閥與氣壓缸連接,且用于調節氣壓缸中氣壓大小和流速。
6.根據權利要求1所述的一種用于立式沉積爐中石墨爐管的自動化提取裝置,其特征在于,
真空吸附盤包括吸盤、吸盤架和密封圈,其中,吸盤下分布多個小孔,并與吸盤架的管道相連,以實現真空吸力的傳遞;
聲明:
“用于立式沉積爐中石墨爐管的自動化提取裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)