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    半導體器件的制備方法和半導體器件

    1929   編輯:中冶有色網   來源:深圳市時代速信科技有限公司  
    2022-05-07 17:09:30
    權利要求 1.半導體器件的制備方法,其特征在于,包括: 在襯底上外延生長外延材料層; 在所述外延材料層的至少部分區域形成導電區; 在所述外延材料層遠離所述襯底的一側制備柵極、源極和漏極; 在所述襯底遠離所述外延材料層的一側刻蝕形成通孔,所述外延材料層為刻蝕停止層; 在所述襯底遠離所述外延材料層的一側形成背金層,所述背金層延伸至所述通孔內,并通過所述導電區內的外延材料層與所述源極電學連接。 2.根據權利要求1所述的半導體器件的制備方法,其特征在于,在所述外延材料層的至少部分區域形成導電區的步驟,包括: 在所述外延材料層的至少部分區域進行離子注入,以形成第一注入區; 將所述第一注入區激活,以形成所述導電區。 3.根據權利要求2所述的半導體器件的制備方法,其特征在于,在襯底上外延生長外延材料層的步驟,包括: 在所述襯底上依次沉積成核層、第一外延層、第二外延層和帽層; 在所述外延材料層的至少部分區域進行離子注入的步驟,包括: 在至少部分區域內的所述成核層和所述第一外延層進行離子注入。 4.根據權利要求1所述的半導體器件的制備方法,其特征在于,所述導電區位于所述通孔上方,且所述導電區的形狀與所述通孔的截面形狀相適配。 5.根據權利要求4所述的半導體器件的制備方法,其特征在于,在所述外延材料層的至少部分區域形成導電區的步驟之后,所述制備方法還包括: 在所述導電區周圍形成絕緣區。 6.根據權利要求5所述的半導體器件的制備方法,其特征在于,在所述導電區周圍形成絕緣區的步驟包括: 在所述導電區周圍進行離子注入,以形成所述絕緣區。 7.半導體器件,其特征在于,所述半導體器件包括: 襯底; 設置在所述襯底一側的外延材料層; 設置在所述外延材料層遠離所述襯底一側的源極、漏極和柵極; 以及,設置在所述襯底遠離所述外延材料層一側的背金層; 其中,所述外延材料層的至少部分區域形成有導電區,所述襯底遠離所述外延材料層的一側形成有通孔,所述背金層延伸至所述通孔內,并通過所述導電區內的外延材料層與所述源極電學連接。 8.根據權利要求7所述的半導體器件,其特征在于,所述導電區位于所述通孔上方,且所述導電區的形狀與所述通孔的截面形狀相適配。 9.根據權
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