本發明提供了一種基于電化學微納體系的功能材料的微納加工方法及其裝置,可在特定基底或者微納芯片上原位合成微納米尺度的功能材料,用于構筑全固態微納米器件。所述方法包括:構筑微納米尺度的電化學反應器,以將合成功能材料的物理化學過程限制在微納米尺度的空間內;以及調控待加工的導電基底或芯片上的微區物理化學環境,以在導電基底或微納芯片上原位合成微納米尺度的功能材料。所述裝置包括微納米尺度的電化學反應器、電化學工作站、微納米精度的三維微動系統、視頻監視器和信息處理計算機。
聲明:
“基于電化學微納體系的功能材料的微納加工方法及其裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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