一種柔性力熱集成傳感器,其制作方法是先在柔性襯底上制作叉指電極結構的鉑電極,然后制備具有柵線結構的軟模具凹模;再制作壓電功能材料,將壓電功能材料滴在軟模具凹模上,進行刮涂填充,形成柵線內充分填充且柵線外不留膜的結構;再在具有鉑電極的柔性襯底上滴加無水乙醇,將刮涂了壓電功能材料的軟模具凹模按壓在鉑電極,快速置于烘臺上加熱,使壓電功能材料從軟模具凹模中脫離出來粘接于鉑電極上;揭去軟模具凹模,形成鉑電極?功能材料的疊層結構;將封裝膠滴加在鉑電極?功能材料的疊層結構上,自然流平將疊層結構區全部覆蓋,極化后得到柔性力熱集成傳感器結構,能夠測量溫度和力,具有靈敏度高、成本低、重量輕的優點。
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