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    氮化物材料的制備方法及氮化物材料

    991   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:02:31
    本發明涉及半導體材料制備技術領域，具體涉及氮化物材料的制備方法及氮化物材料，氮化物材料的制備方法，包括以下步驟：提供襯底，在襯底的表面沉積氮化物，形成氮化物薄膜；采用離子注入方法，在氮化物薄膜中形成離子注入層，離子注入層將氮化物薄膜分隔形成第一氮化物膜與第二氮化物膜，第一氮化物膜附著于襯底上，第二氮化物膜遠離襯底；在第二氮化物膜的表面沉積功能材料，形成功能材料層；自離子注入層剝離第二氮化物膜與功能材料層。工藝步驟簡單，可操作性強，無需激光處理，不受功能材料的尺寸限制，利于在工業中應用。
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    “氮化物材料的制備方法及氮化物材料” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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