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    制作納米孔陣列的方法、納米孔陣列和納米孔陣列傳感器

    866   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:02:31
    本發明提出了制作納米孔陣列的方法、納米孔陣列和納米孔陣列傳感器，制作納米孔陣列的方法，包括：提供硅片；形成第一掩膜層，形成第二掩膜層；形成第一圖案化層；形成第二圖案化層；進行第一濕法刻蝕；進行第二濕法刻蝕；形成功能材料層；對第二刻蝕腔進行第三濕法刻蝕，以形成第三刻蝕腔，暴露位于錐尖的功能材料層；對位于錐尖的功能材料層進行第四刻蝕，以形成多個納米孔，得到納米孔陣列。由此，可通過簡便的方法制備具有孔徑均一、制備流程簡便、可重復性高等優點的納米孔陣列結構。
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