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    體聲波器件及其制作方法

    782   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:02:31
    本發明涉及一種體聲波器件及其制作方法，其中體聲波器件的制作方法包括：提供基底，基底具有發射器件區與接收器件區；于基底上形成第一功能層，第一功能層至少覆蓋發射器件區與接收器件區；于第一功能層上形成刻蝕停止層；于刻蝕停止層上形成第二功能材料層；基于刻蝕停止層，去除對應接收器件區的第二功能材料層，剩余的第二功能材料層構成第二功能層，第二功能層與第一功能層共同形成功能結構層，體聲波器件的壓電層或者底電極層或者頂電極層包括該功能結構層。本申請可以有效降低體聲波器件的制作成本。
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    聲明：
    “體聲波器件及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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