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    鈦酸鉍鈉基無鉛壓電薄膜及其制備方法

    1081   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:03:01
    本發明涉及涉及一種鈦酸鉍鈉基無鉛壓電薄膜及其制備方法，屬于電子功能材料和器件領域。本發明提供的制備方法包括如下步驟：步驟1，將硝酸鉍、乙酸鈉、乙酸鍶加入溶劑，攪拌得溶液A；步驟2，將乙酰丙酮、鈦酸四丁酯、九水合硝酸鐵、四水合乙酸錳溶于溶劑，攪拌、加熱，得溶液B；步驟3，將溶液A與溶液B混合，預處理后得混合液C；以及步驟4，用旋涂法將混合液C涂覆在處理好的基片上，高溫處理后，即得(0.72?x)(Bi0.5Na0.5)TiO3?0.28SrTiO3?xBi(Fe0.95Mn0.03Ti0.02)O3三元體系鈦酸鉍鈉基無鉛壓電薄膜。所以，本發明制備得到的壓電薄膜表面平整光滑、具有典型的鈣鈦礦結構、較高的極化強度以及優異的壓電性能，同時逆壓電系數最高可達179.7皮米/伏，對于開發高性能無鉛壓電薄膜具有非常重要的意義。
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