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    > 應用于乙醇傳感器的VSe2單晶薄膜的制備方法

    應用于乙醇傳感器的VSe2單晶薄膜的制備方法

    885   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:03:02
    本發明提供的一種應用于乙醇傳感器的VSe2單晶薄膜的制備方法，屬于功能材料制備技術領域。首先將V和Se粉體放置于石英管底部，將石英管抽真空并進行封管；然后將封裝好的石英管豎直放入立式爐中，通過設定立式爐的升降溫及保溫程序，精確控制爐內溫度以滿足晶體的加熱、長晶過程，V和Se粉體在溫度與重力場的協同作用下，變成蒸汽并在臺階處的基片上生長得到VSe2單晶薄膜。本發明方法中，晶體的生長是在真空石英管中完成的，不涉及氣體的通入及廢氣的處理過程；且方法簡單，成本低廉，得到的單晶薄膜純度高，品質好，可作為高純度本征單晶半導體材料，應用于乙醇傳感器等氣體傳感器中。
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