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    基于VO2薄膜的柔性呼吸傳感器及其制備方法

    1187   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:04:01
    本發明屬于功能材料合成領域，具體涉及一種基于氧化釩(VO2)薄膜的柔性呼吸傳感器及其制備方法，克服了VO2納米線傳感器測量誤差大、制備工藝復雜以及應用難度大的缺陷。本發明基于VO2薄膜的柔性呼吸傳感器，包括聚酰亞胺薄膜、設置于聚酰亞胺薄膜上的平行金電極、覆蓋于平行金電極上的VO2薄膜、以及覆蓋于VO2薄膜上的聚二甲基硅氧烷；該呼吸傳感器基于VO2薄膜實現，其結構簡單、制備工藝簡單、制備成本低，對呼吸頻率、呼吸深度具有良好的監測，測量誤差??；同時，本發明還提供該呼吸傳感器的制備方法，該制備方法工藝簡單、成本低廉，具有良好的工藝可控性和重復性，有利于大規模批量化生產。
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    “基于VO2薄膜的柔性呼吸傳感器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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