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    在硅基片上生長(100)擇優取向鈦酸鉍鈉基薄膜的方法

    1118   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:04:02
    本發明屬于電子功能材料領域，具體涉及一種在硅基片上生長(100)擇優取向鈦酸鉍鈉基薄膜的方法。該系列薄膜的化學通式為Na0.5Bi0.5Ti1-yXyO3-δ，其中X為摻雜元素；y為摻雜元素的摻雜量；δ是為了維持電荷平衡所失去的氧原子的數目。本發明采用優化的化學溶液沉積制備技術，在硅基片上，制備了具有(100)擇優取向的鈦酸鉍鈉基薄膜。本發明整個制備工藝過程簡單、易控，成本低廉，且制備出的薄膜晶相單一，擇優取向度高。
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