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    多金屬氧酸鹽巨型表面活性劑及其制備方法和應用

    806   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:05:01
    本發明提供了一種多金屬氧酸鹽巨型表面活性劑及其制備方法和應用，屬于功能材料技術領域。本發明提供的多金屬氧酸鹽巨型表面活性劑以多金屬氧酸鹽(POM)為頭部，疏水性的聚苯乙烯(PS)為尾部，相比于已經報道的以有機部分如聚倍半硅氧烷(POSS)，富勒烯(C60)為頭部的巨型表面活性劑，本發明設計合成的巨型表面活性劑的頭部與尾部之間具有更大的相互作用斥力，該相互作用斥力使其在超薄膜狀態下發生的相分離尺寸為10nm左右。同時，所述多金屬氧酸鹽巨型表面活性劑在發生相分離之后，其與硅基底有很高的刻蝕對比度，可以通過光刻蝕技術對其進行刻蝕，從而能夠應用于半導體行業中單個傳感器的制造。
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