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    制備低維材料堆疊結構的轉移方法與裝置

    1041   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:05:02
    本發明公開了一種制備低維材料堆疊結構的轉移方法與裝置。所述裝置包括從上到下依次設置的顯微觀察系統、轉移架、微量液滴供給系統和三維平移臺；載體A吸附在轉移架下面，載體B置于三維平移臺上。低維材料在載體A和載體B之間垂直堆疊，實現了不同種類或同種類低維材料之間的有效、多樣化堆疊。由本發明制得的堆疊材料，由于沒有成分過渡，所形成的異質結具有原子級陡峭的載流子(勢場)梯度；此外，由于超薄的厚度以及特殊的二維結構，制得的堆疊材料具有強的柵極響應能力，以及與傳統微電子加工工藝和柔性基底相兼容的特性。本發明對功能材料、功能器件的基礎研究和應用發展具有重要實踐意義。
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