本發明涉及一種注入稀土元素的白光發射氮化鋁材料、制備方法及應用。將厚度為50nm~100nm的氮化鋁薄膜材料置于離子注入裝置中,分別進行Pr、Er和Tm稀土離子的注入和退火處理,注入的能量范圍為200~400KeV,注入角度為0~100,各離子的注入劑量相同,分別為1014~1016個/平方厘米。制備得到的氮化鋁材料具有白光發射功能,它可以作為核心功能材料,應用于光發射二極管、平板顯示等領域中。
聲明:
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