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    石墨烯高溫溫度傳感器

    1205   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 15:05:02
    本發明涉及高溫測試技術領域,具體涉及一種石墨烯高溫溫度傳感器。一種石墨烯高溫溫度傳感器,主要結構包括:納米膜、互連電極、襯底、密封環、封裝外殼、陶瓷基板、引線柱。納米膜由上下兩層氮化硼與夾在其中的石墨烯組成,布置在襯底的下表面,襯底上表面刻蝕出多孔結構以加快熱傳導,互連電極由互連凸點鍵合互連焊盤組成,通過引線柱將檢測單元與外部相連。采用Pt?Pt金屬鍵合技術使襯底與陶瓷基板形成真空腔,隔絕了納米膜與外界的直接接觸,為納米膜提供無氧防護。氮化硼/石墨烯/氮化硼納米薄膜既是器件的功能材料,又是其結構材料。器件可以長期穩定工作在1700℃的高溫,并且耐酸堿、抗腐蝕,適用于各種高溫測試環境。
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