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    平面靶材的綁定方法

    764   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:06:02
    本發明涉及一種平面靶材的綁定方法，屬于光電功能材料技術領域。該方法包括以下步驟：S1、將靶材綁定面與背板綁定面依次進行噴砂和等離子清洗；制得表面處理后的靶材和表面處理后的背板；S2、將所述表面處理后的靶材及所述表面處理后的背板升溫至170℃～180℃后，進行超聲波焊接銦；S3、在步驟S2處理后的背板綁定面上制作3mm～5mm深的銦池；S4、將步驟S2處理后的靶材放入所述銦池中，直至完全浸入銦池；S5、對步驟S4處理后的靶材表面采用超聲波進行震動；S6、將步驟S5處理后靶材施加作用力后冷卻；S7、將步驟S6處理后靶材拼接縫隙中的銦去除后，再次冷卻。本發明的綁定方法最終達到99％以上的貼合率。
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    聲明：
    “平面靶材的綁定方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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