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    低介電損耗鈦酸銅鈣薄膜的制備方法

    1000   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:07:01
    本發明屬于電子功能材料技術領域，涉及一種低介電損耗鈦酸銅鈣薄膜的制備方法；具體步驟為：首先制備獲得CCTO前驅體溶膠；然后清洗硅片，將硅片依次浸入NaOH溶液、去離子水中和無水乙醇中，超聲振蕩，烘干、冷卻后備用；取前驅體溶膠的上層清液保溫，在密閉環境中，將清洗后的硅片于CCTO前驅體溶膠中浸漬，勻速取出，置于馬弗爐內干燥，形成一層均勻致密的CCTO薄膜，重復操作，直至鍍完5層薄膜，得到非晶化CCTO薄膜；置于無水乙醇擦拭后的坩堝中，在空氣氣氛下進行退火處理，冷卻得到CCTO薄膜；本發明方法操作簡單，原料價格低廉、環保，制備方法簡單且重復性高，介電性能優異，具有良好的應用價值。
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    “低介電損耗鈦酸銅鈣薄膜的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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