本發明屬于電子功能材料與器件領域,具體涉及一種高儲能特性的柔性鈦酸鉍鈉基薄膜電容器及其制備方法。本發明的薄膜電容器,由柔性云母基片、Pt薄膜底電極、鐵電薄膜層和金屬Pt或Au頂電極組成。本發明的薄膜電容器,以鈦酸鉍鈉基鐵電薄膜作為功能層,其化學通式為0.97(0.94Na0.5Bi0.5TiO3?0.06BaTiO3)?0.03BiFeO3?xCeO2?yMnO2,其中0≤x≤1%,0≤y≤2%,且y>x。本發明工藝簡單、成本低廉,所制備的柔性鈦酸鉍鈉基薄膜電容器耐彎折、儲能密度大、儲能效率高、熱穩定性好、損耗低,可滿足柔性儲能元器件的要求。
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