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    > 降低二氧化釩薄膜相變溫度的方法

    降低二氧化釩薄膜相變溫度的方法

    1040   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:07:01
    本發明公開了一種降低二氧化釩薄膜相變溫度的方法，包括以下步驟：1)制備出具有相變功能的M相二氧化釩薄膜，所述M相二氧化釩薄膜形成于基板上；2)將步驟1)制備的M相二氧化釩薄膜樣品置于退火裝置中，將退火裝置抽真空至真空度為200～2000Pa后保持真空度不變或者抽真空至真空度為200～2000Pa后通入惰性氣體至標準大氣壓，再升溫至280～320℃，保溫時間為0.5～3h，然后隨爐自然冷卻至室溫，即可得到相變溫度降低的二氧化釩薄膜。本發明能夠降低純氧化釩薄膜的相變溫度，也能降低摻雜氧化釩薄膜的相變溫度，具有非常廣闊的使用范圍。此外，本發明處理溫度低，工藝簡單，安全性好，在高端光電功能材料領域具有廣闊的應用前景。
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    “降低二氧化釩薄膜相變溫度的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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