一種鈰摻雜鈦酸鍶鋇薄膜的制備方法,屬于功能材料技術領域。以不強于乙酸的鋇鹽、鍶鹽、鈰鹽以及鈦酸丁酯為原料,先配制鋇鍶前驅液,然后加入鈰鹽形成鋇鍶鈰前驅液,再加入PVP形成PVP鋇鍶鈰前驅液,再加入乙二醇甲醚和鈦酸丁酯形成鈰摻雜BST前驅液,再加入乙酰丙酮并用冰乙酸定容形成BST溶膠;然后采用BST溶膠經多次勻膠、干燥、熱解、預晶化及冷卻得到多層非晶BST薄膜,最后經晶化處理得到鈰摻雜鈦酸鍶鋇薄膜。本發明解決了高濃度鈰摻雜(鈰摻雜濃度不低于鈦離子濃度的5%)制備鈦酸鍶鋇薄膜時所存在的水解問題,所制備的鈰摻雜BST薄膜具有更低的漏電流密度和介電損耗,從而滿足鈰摻雜BST薄膜的微波應用。
聲明:
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