本發明提供了一種表面增強紅外吸收襯底及其制備方法,屬于功能材料技術領域。本發明利用模板微球光刻加等離子體刻蝕的方式,能夠簡單、低成本、大面積的制備表面增強紅外吸收(SEIRA)襯底,且制備得到的SEIRA襯底中柱體陣列周期性好,保證SEIRA襯底具有較高的增強效率,解決了現有技術中SEIRA襯底無法兼顧低成本和高增強效率的問題。
聲明:
“表面增強紅外吸收襯底及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)