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    有機氣體傳感器及其制備方法

    1036   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:07:02
    本發明公開了一種有機氣體傳感器及其結構,包括基板、第一電極、介質層、敏感薄膜層、第二電極和第三電極,器件中的介質層使用有機功能材料,根據器件結構中各薄膜層和電極位置的不同,器件可以分為頂部接觸式和底部接觸式兩種。本發明采用新型結構提高了氣體傳感器的集成度、響應速度和響應精度,并且優化了一般氣體傳感器的制作工藝,降低了工藝要求,提高其性能,大幅降低氣體傳感器的制備成本及提高設備的可靠性。
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