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    飛秒激光提高摻鋁氧化鋅薄膜光電性能的方法

    942   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:08:01
    本發明提供一種基于電子動態調控的飛秒激光提高摻鋁氧化鋅薄膜光電性能的方法，屬于功能材料技術領域，該方法基于飛秒激光微納加工系統，包括以下步驟：將摻鋁氧化鋅沉積的基底樣品清洗處理后放置在飛秒激光微加工光路中，飛秒激光器產生的飛秒激光經過物鏡聚集到氧化鋁材料上，通過調節飛秒激光的能量、重復頻率以及基底樣品位移速度等參數控制在樣品表面的加工形貌。對比現有技術，本發明提供的方法可修復摻鋁氧化鋅表面缺陷，降低材料的方阻，提高其導電性能；同時樣品表面所產生的加工形貌可降低表面的反射率，在太陽能電池應用中增強光的吸收，提高光電效率。
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    “飛秒激光提高摻鋁氧化鋅薄膜光電性能的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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