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    WO3包覆TZO粉體的制備及其燒結方法

    1156   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:08:02
    一種TZO?WO3包覆粉末的制備及其燒結方法。本發明屬于非金屬元素及其化合物。本發明公開了一種新的工藝來制備WO3摻雜TZO靶材。本發明的優點在于用一種新的摻雜工藝來代替傳統的球磨摻雜，得到充分混合、均勻摻雜的粉體。適用于微量(0.2?0.5at％)的WO3粉末摻雜，就可制備出致密度99％，強度大于118MPa，電阻率小于5×10?3Ω·cm的摻雜TZO靶材，這種摻雜TZO靶材，可經濟、高效的制成各種復雜形狀。TZO薄膜是一種被廣泛研究的功能材料。TZO透明導電薄膜性能穩定、制備簡單、成本低廉等優勢，在光電學性能平板顯示領域得到了極其廣泛的應用，是新一代透明導電膜，最有可能替代昂貴的ITO，在薄膜太陽能電池和low?E·玻璃等領域，正顯示出巨大的應用前景和市場。
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