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    雙片式石墨基壓阻式柔性壓力傳感器及其制作工藝

    1033   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:08:02
    本發明提出了一種雙片式石墨基壓阻式柔性壓力傳感器，包括第一紙張以及與其相粘合的第二紙張，所述第一紙張表面與第二紙張表面均涂覆有石墨薄膜，所述第二紙張的上表面設有石墨微納結構以及與石墨微納結構相連的微電極。當壓力作用在傳感器上表面時，上層石墨薄膜會與帶有微納結構的石墨薄膜接觸，從而引起其電阻率發生的變化，此外，石墨微納結構還會受到壓縮作用引起其能帶變化，從而進一步引起其電阻率發生明顯的變化（壓阻特性），從而實現了高靈敏度的力傳感。相比現有的柔性壓力傳感器，本發明利用低成本的石墨作為功能材料制作柔性壓力傳感器并通過微納結構及微納接觸敏感的方式實現高靈敏的壓力傳感，降低其響應時間。
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