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    基于脈沖激光燒蝕的高精度快速薄膜熱電器件及其制備方法

    805   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:08:02
    本發明涉及一種基于脈沖激光燒蝕的高精度快速薄膜熱電器件的制備方法。在基底上沉積電極層后，先在電極層表面沉積熱電材料，再利用激光燒蝕實現熱電材料圖案化，接著沉積絕緣層、噴涂上電極后制得薄膜熱電器件，此技術可有效降低加工成本、減少加工環節。通過引入激光燒蝕法實現熱電對高密度圖案化的同時，薄膜熱電材料可進行高溫沉積，有利于實現高性能核心功能材料的引入。此外，通過將單個熱電對的結構設計為“之”字型，實現同類型熱電材料相鄰排列，有效提高單位面積內熱電對的集成數量，從而薄膜熱電器件功率密度輸出獲得大大提升。
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