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    紅外探測器陣列及其制作方法

    958   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:10:02
    本發明提供一種紅外探測器陣列及其制作方法，該紅外探測器陣列的結構特點在于在非致冷紅外探測器像素的懸橋結構上制作兩組熱敏單元B1和B2，在襯底上制作另外兩組熱敏單元S1和S2，再通過惠斯通電橋形式將這四組熱敏單元連接起來，差分輸出電信號，抑制了電路噪聲，可顯著地提高器件的信噪比。本發明制作方法的特點在于：在釋放像素結構時，先在襯底中刻蝕出腐蝕槽，然后采用各向異性腐蝕劑腐蝕硅釋放像素結構，提高了腐蝕釋放效率，且腐蝕形狀及深度可控，可避免像素和襯底之間發生粘連，還可以以未腐蝕盡的硅作為像素的錨，簡化了錨的制作工藝。
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