在一個干燥爐(51)內部容納上下多層熱板(52)。在干燥爐(51)前面,靠近上下多層熱板(52)開設常開式工件出入口(51a)。另外,在干燥爐(51)后面設置外罩箱(53),在該外罩箱(53)內部,通過靠近多層熱板(52)之間的各個間隙里形成通氣孔(54a)的分流板連通于爐內空間的排氣機構來劃分強制排氣的排氣室(55)。利用這樣的干燥裝置,可以同時有效干燥多個工件。
聲明:
“干燥裝置和具備此干燥裝置的工件處理單元” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)