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    光纖與光學波導耦合的模斑變換器及其制作方法

    1062   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:10:02
    一種光纖與光學波導耦合的模斑變換器及其制作方法，其中，模斑變換器包括：沿從光纖到光學波導方向分為第一區域、第二區域和第三區域；第一區域從下到上包括襯底層、鍵合層、平板光學功能層，在鍵合層上形成掩埋過渡光波導結構；第二區域從下到上包括襯底層、鍵合層、完整光學功能層，在鍵合層上形成掩埋過渡光波導結構，完整光學功能層包含第一區域中的平板光學功能層，在光學功能層上形成單層倒錐過渡光波導結構，沿從光纖到光學波導方向，單層倒錐過渡光波導的寬度以預設方式逐漸增大，結構用于將光從鍵合層的掩埋過渡光波導耦合至第三區域的光學功能層的光學波導中；第三區域從下到上包括襯底層、鍵合層、完整光學功能層，在光學功能層上形成光學波導結構。由此，實現了低耦合損耗，大對準容差，低工藝復雜度，低成本和高普適性的模斑變換器方案。
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