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    膜圖案的形成法、膜圖案、器件、電光學裝置和電子儀器

    1214   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:10:02
    本發明提供在圍堰上不殘留彈落的功能液的殘渣、使該功能液確實地流入圖案形成區域內、得到可靠性高的膜圖案的膜圖案形成方法,用該形成方法得到的膜圖案、具備該膜圖案的器件、電光學裝置和電子儀器。本發明是將功能液(X1)配置在基板(P)上形成膜圖案的方法,首先,在基板(P)上形成與膜圖案的形成區域(34)相對應的圍堰(B)。而且,將功能液(X1)配置在由圍堰(B)區分的圖案形成區域(34)內。而且,使功能液(X1)進行固化處理,形成膜圖案。此時,在相對于圍堰(B)的上面的功能液(X1)的前進接觸角和后退接觸角之差成為10°以上而且后退接觸角成為13°以上的條件下進行功能液X1的配置。
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