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    能夠應力調控的石墨烯膜光纖法珀諧振器及其制作方法

    774   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:11:01
    本發明公開了一種能夠應力調控的石墨烯膜光纖法珀諧振器及其制作方法。該諧振器以石墨烯膜為諧振敏感材料，利用SU?8光刻膠制作形成一個光纖定位帽，并由光纖端面和吸附于光纖定位帽端面的石墨烯膜形成法布里?珀羅干涉腔。所述的制作方法將MEMS微加工技術與近紫外光刻技術相結合，首先，在氧化硅基片與形變可控的襯底層之間旋涂PDMS作為釋放層，使得襯底層與硅基片的分離變得更容易；之后，在制成的應力調控襯底層的另一側，旋涂SU?8光刻膠，并通過光刻技術制作具有臺階式圓筒狀內部結構的定位帽以實現光纖的導入與定位；最后，通過環氧樹脂膠將插入的光纖與定位帽進行粘合封裝。本發明制備得的諧振器具有結構新穎、體積小、薄膜應力可調控等優點。
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