權利要求
1.SnO 2-MoSe 2復合材料的制備方法，其特征在于：包括以下步驟： （1）MoSe 2的制備：以鉬酸鈉和硒粉為原料，先后加入硼氫化鈉、無水乙醇，進行水熱反應，經過后處理得到MoSe 2納米材料； （2）SnO 2-MoSe 2復合材料的制備：用乙醇溶解MoSe 2，然后加入SnCl 4?5H 2O，置于高壓反應釜中反應；冷卻至室溫后，依次經過固液分離和干燥，最后將所得產物在氬氣下退火處理，得到所述的SnO 2-MoSe 2復合材料。2.根據權利要求1所述的SnO 2-MoSe 2復合材料的制備方法，其特征在于：步驟（1）中，后處理包括：當烘箱溫度降至室溫以下時，倒出反應釜內液體，用水和乙醇交替離心洗滌，干燥；將所得固體置于氫氧化鈉溶液中，水浴，待冷卻到室溫后，繼續用水和乙醇離心洗滌，最后進行干燥。 3.根據權利要求1所述的SnO 2-MoSe 2復合材料的制備方法，其特征在于：步驟（2）中，置于200-240℃高壓反應釜中反應25-30小時。 4.根據權利要求1所述的SnO 2-MoSe 2復合材料的制備方法，其特征在于：步驟（2）中，將所得產物在300-350℃的氬氣下以1℃/min的升溫速率退火2-3小時。 5.根據權利要求1所述的SnO 2-MoSe 2復合材料的制備方法，其特征在于：步驟（2）中，MoSe 2與SnCl 4?5H 2O的質量比為1：2-4。 6.基于權利要求1所述SnO 2-MoSe 2復合材料制備的MEMS二氧化硫傳感器，其特征在于：包括以下制備步驟： （1）將微熱板與管殼清理后，使用貼片機將微熱板與管殼進行粘合，然后進行固化； （2）使用金絲進行微熱板引線鍵合； （3）使用微電子打印機對鍵合完成后的微熱板和管殼進行納米材料噴涂，將納米材料噴涂在微熱板上，然后進行材料固化； （4）將密封膠在管殼周圍均勻點膠，進行管帽封蓋，固化； （5）使用表面貼裝的陶瓷封裝底座對微熱板進行
聲明：
“SnO2-MoSe2復合材料的制備方法、MEMS二氧化硫傳感器及其應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：山東乾能科技創新有限公司
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2025年08月05日 ~ 07日 
