一種高功率遠紅外金剛石激光單晶復合材料制備方法,屬于金剛石激光晶體材料領域。首先采用微波等離子體化學氣相沉積(CVD)制備(100)金剛石單晶膜;隨后經過激光平整化、拋光、酸洗以及丙酮和酒精清洗后獲得熱導率≥2000w/(m·K)、遠紅外波段(8~12μm)紅外透過率為71%金剛石單晶膜;再通過磁控濺射方法在雙面拋光金剛石單晶膜單面沉積1?2nm厚(100)銦(In)層作為晶格失配緩沖層;最后在銦(In)層表面異質外延生長(100)硒銦鎵銀(AgGa1?xInxSe2)非線性晶體材料,進而獲得單晶硒銦鎵銀(AgGa1?xInxSe2)/銦(In)/金剛石激光單晶復合材料。本發明金剛石激光單晶復合材料導熱系數高、遠紅外激光輸出功率大,特別適用于遠紅外固體激光器、光通訊等領域的應用需求。
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