本發明提供了一種壓電復合材料表面電極的制備方法,該制備方法包括如下步驟:步驟一、對壓電復合材料表面進行研磨;步驟二、對研磨后的壓電復合材料表面進行清洗,然后烘干;步驟三、在常溫狀態下,采用直流磁控濺射工藝在壓電復合材料表面先制備出厚度較薄的第一層NiCr合金薄膜材料;步驟四、采用直流磁控濺射工藝在第一層薄膜材料上直接制備第二層Ag薄膜材料。本發明還提供了一種根據以上制備方法制備出來的壓電復合材料表面電極。經過顯微分析及電學、力學測試表明,壓電復合材料表面電極表面光滑、均勻,導電性能好、電阻率較低,附著力能夠滿足應用需求。
聲明:
“壓電復合材料表面電極及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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