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    Si基Ge摻雜石墨烯復合材料的制備方法

    998   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:26:02
    本發明屬于復合材料制備技術領域，提供了一種Si基Ge摻雜石墨烯復合材料的制備方法，采用離子束濺射法制備Si基Ge摻雜石墨烯，所述方法包括以下步驟：將Si基石墨烯基片放入生長室，抽真空后通過Ge沉積（200~800℃）、退火(0~30min)工藝獲得Si基Ge摻雜石墨烯復合材料。本發明優勢：Si基復合材料可與現行成熟Si微電子工藝兼容；實現了Ge對石墨烯中C原子的取代摻雜，形成Ge?C鍵合；避免化學法在原子周圍產生支鏈，及支鏈勢壘影響載流子的輸運特性。本發明的復合材料具有高載流子濃度和遷移率，可用于微電子器件、太陽能電池及紅外探測等領域。
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    標簽：
    復合材料
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