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    負載有納米銀的氟化石墨烯復合材料的制備方法

    1166   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 15:28:03
    本發明公開了一種負載有納米銀的氟化石墨烯復合材料的制備方法,包括如下步驟:1)將石墨烯薄膜至于PECVD反應室中,設壓力為5×10?4?10?3Pa,溫度為200?600℃,等離子體產生的微波功率為300?500W,以氬氣為載體,通入氟氣,反應1?20h,得到氟化石墨烯薄膜;2)將得到的氟化石墨烯薄膜轉移至原子沉積腔室中,采用惰性氣體除氣20min?30min,調節超真空反應腔的真空度為10?6?10?7Pa,調節溫度為400℃?700℃;3)以銀為靶材,通過電子束轟擊蒸發形成銀反應氣源,通入到沉積腔室中,時間為20?100ns,再通入惰性載氣50?200ns,重復步驟5?20min,交替通入銀反應氣源和惰性載氣,在氟化石墨烯薄膜上生長形成納米銀,得到負載有納米銀的氟化石墨烯復合材料。本發明得到的復合材料具有優良性能。
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