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    大尺寸圓截面陶瓷基復合材料構件熔融滲硅工裝及方法

    1133   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:42:02
    本發明涉及一種大尺寸圓截面陶瓷基復合材料構件熔融滲硅工裝及方法，解決對于大尺寸圓截面陶瓷基復合材料零構件LSI工藝制備過程存在的過程控制難度大、構件密度均勻差、易變形及底部液硅易堆積、粘接等問題，工裝包括由石墨材料制成的多個坩堝單元，各坩堝單元依次同軸從下至上疊放形成坩堝，相鄰兩個坩堝單元之間鋪設環形石墨紙層。方法包括加工大尺寸圓截面陶瓷基復合材料構件半成品及制備大尺寸圓截面陶瓷基復合材料構件的步驟。本發明通過設計分層結構形式的坩堝，采用該結構坩堝，可有效將高溫熔融的原料按區域分割，防止因重力作用導致高溫時熔融原料下沉，出現下部致密化程度高，上部致密化程度低的現象，有效地提高構件密度的均勻性。
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    “大尺寸圓截面陶瓷基復合材料構件熔融滲硅工裝及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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