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    快速制備碳／碳復合材料坩堝的窄流感應耦合CVD 致密化方法

    972   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:06:02
    本發明涉及一種快速制備碳／碳復合材料坩堝的窄流感應耦合CVD致密化方法。該方法包括采用化學氣相沉積工藝，在窄縫氣流和感應耦合的協同作用下，高溫反應室通入小分子烴和N2氣混合氣體，小分子烴在碳纖維坩堝預制體或低密度碳／碳復合材料坩堝坯體內部孔壁表面吸附并高溫釋放出熱解碳，熱解碳在熱態碳纖維表面沉積，坯體密度不斷提高，快速獲得致密的碳／碳復合材料坩堝。本發明方法窄縫氣流和感應耦合措施的協同作用下，有效抑制表面先結殼現象，允許采用較高的沉積溫度和反應氣體爐壓，更快速的內外均衡致密化，提高質量、縮短周期、降低成本。
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